仪器名称：扫描电子显微镜
英文名称：ScanningElectronMicroscope（SEM）
仪器型号：SH-5000M
仪器厂家：HIROX公司
功能介绍：
扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器
主要技术参数：
1.位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm
2.最高倍率达100,000X
3.SE(二次电子)探测器(可选BSE探测器)
4.加速电压5kV~30kV范围可调
5.4孔可变光阑-30/50/100/200 um
6.高分辨率最高可达5百万像素
