仪器名称：三维表面测量仪
英文名称： Infinite Focus Optical 3D surface metrology
仪器型号：IPM G5
仪器厂家：奥地利Alicona公司
功能介绍：
自动变焦三维表面测量仪IFM G5是采用先进的自动变焦技术对物体表面形貌和粗糙度进行测量的仪器。该仪器的工作原理是光学小景深测量与精密垂直扫描相结合。光源所发出的光线经过共轴的分光棱镜和物镜，聚焦照射到样品表面上并发生反射，所反射光学信号经由分光棱镜被信号传感器接收。通过连续的自动的垂直扫描技术以及先进的图像运算处理技术，获得样品完整的表面三维形貌。
主要技术参数：
1. 位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm
2. 最大样品高度：100mm～ 345mm
3. 最佳水平分辨率：0.44μm
4. 最佳垂直分辨率：10nm
5. 测量速度: 170万个测量点/秒
6. 最小测量高度：0.01μm
7. 最大测量高度：22.5mm
8. 最大测量形貌长度：100mm
